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真空爐的內部結構是一種非常復雜的體系，其加熱元件、隔熱層、真空體系以及氣體通道等組成部分的規劃和運作都非常重要，關系到爐內物質的加熱和處理作用。
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在真空爐的運用過程中，為了達到某些特定的處理作用，有時需要在爐內參加特定的氣體，此刻就需要運用氣體通道。
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真空爐內部還有一個重要的部分便是真空體系，它主要由真空泵和各種真空閥門組成。
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為了保持爐膛內的高溫狀況，真空爐的內部還需要有隔熱層。
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結構形式：石墨加熱器一般規劃為棒狀、管狀或其他形狀，以習慣不同的加熱需求。
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資料的純度和結晶度：高純度和高結晶度的石墨資料可以進步真空爐石墨件的耐高溫功能和抗氧化才能。
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當加熱元件通電時，會發生高溫，從而使爐膛內的物質加熱。石墨棒比電阻絲愈加耐高溫，在加熱過程中不易損壞，因此被廣泛應用于高溫真空爐中。
